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    更新时间:2022-09-30

    访问量:478

    厂商性质:生产厂家

    生产地址:

    简要描述:
    实验室用快速退火炉 又名RTP设备,此设备为型号AS-One系列,分为可以处理4“基片的AS-ONE100以及处理6“基片的AS-ONE150,更小的基片可使用基片托。主要用于大学,研究实验室以及年产量高达10000晶圆的小规模生产。
    品牌其他品牌产地类别进口
    应用领域医疗卫生,环保,化工,能源,电子
      实验室用快速退火炉
      
      4、快速退火炉的具体参数
     
      温度范围: 室温至1250°C(AS-One100)、室温至1450°C(AS-One100HT)、室温至1200°C(AS-One150)、室温至1300°C(AS-One150HT)、升温速率:可达200°C/s(AS-One100),可达150°C/s(AS-One150)
     
      特殊配置下冷却速率达 100°C/s(选配快速冷却装置)
     
      可配5条带质量流量控制器(MFC)的工艺气路
     
      标配一条吹扫气路
     
      具有真空能力,配备干泵,可选配分子泵。

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